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| Sputtre Target |
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用于玻璃涂层的靶材其不锈钢基管的典型尺寸是直径5”,而用于卷筒状涂层的是直径7.6”
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铝:
高纯度半导体级铝(>99,99%)用在电子及光学领域
钴: 具有磁性的材料
Si-Si AL: 硅主要用在沉积SiO2 和Si3N4的溅射材料中。玻璃制品行业目前对这种化合物层表现出了特别的兴趣,因为他们低的反射系数和高的硬度。
锡: 锡的氧化物及氮化物被用在玻璃制品的涂层中。这种金属有时会被用在半透明镜子上。
钛: 钛是难熔金属,具有很好抗腐蚀能力。TiO2涂层用在高性能光干涉材料中。同时锡会由于其金子般的颜色而得到应用,并且用在工具的耐磨涂层上!
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