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氧化钛:
这种氧化物结合了导电与快速沉积形成二氧化钛的优点, 在玻璃和卷筒状涂层的应用中发展非常迅猛。
锌 (锌-锌铝-锌锡)
金属锌靶主要用于玻璃行业来沉积氧化锌。目前仍在不断开发新的靶材。
高寿命靶和普通靶
磁缸和靶材一起旋转时由于磁道的回旋使得靶材的两端消耗得比较快。因此通过增加两端的厚度可以使大多数材料的使用率达到90%。
高寿命靶(狗骨形) 90%
使用率 普通靶 65% 使用率
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